前中芯国际CEO邱慈云再出手：12寸硅片技术滞后于军用光掩模领域

6月24日消息，前中芯国际CEO邱慈云在半导体材料领域再下一城。由他担任董事长的广州新锐光掩模科技股份有限公司近日正式启动A股IPO辅导备案，辅导机构为国泰海通证券。

邱慈云近年逐步将重心从晶圆代工转向半导体上游材料领域。此前他已主导中国12寸硅片龙头沪硅产业集团及上海新昇的发展。

此次新锐光掩模启动IPO，标志着这位半导体老将的材料版图从硅片延伸至光掩模。

新锐光掩模成立于2021年2月8日，注册资本10亿元，法定代表人为邱慈云。

该公司无控股股东，第一大股东广州新锐光股权投资基金持股24.61%，第二大股东广东省半导体及集成电路产业投资基金持股21.10%，国家大基金二期持股17.58%。

沪硅产业通过多层产业基金间接持股新锐光掩模，形成12寸硅片与高端光掩模的上下游协同，本次IPO募资将进一步加速先进制程光掩模的国产化进程。

光掩模是芯片光刻工艺的核心图形母版，相当于芯片制造的精密底片，其精度与缺陷控制水平直接决定芯片制程上限与量产良率。

目前该公司已实现40nm至55nm制程光掩模产品稳定出货，正推进28nm及14nm先进制程产线建设，填补国内高端商用光掩模的国产化供给空白。