同济团队凭0.001纳米超高精度支持造芯，荣获国家科技进步奖一等奖

7月8日消息，2025年度国家科学技术奖于今日正式揭晓，由同济大学牵头完成的量子化光晶格常数的纳米计量关键技术及集成电路应用项目荣获国家科学技术进步奖一等奖。

该项目由同济大学、上海御微半导体技术有限公司、中国计量科学研究院、桂林电子科技大学，上海市计量测试技术研究院有限公司合作完成。

历经20余年攻关，项目团队制造出一系列纳米级长度和角度国家一级标准物质，为集成电路等纳米制造领域提供了用于仪器校准与标定的“精准标尺”。

据了解，计量是测量的科学及应用，只有测得出才能造得出，只有测得准才能造得精。

而纳米计量是实现纳米制造准确性的前提和保障，项目团队抓住国际单位制（SI）量子化变革的机遇，发明了量子化光晶格常数的纳米计量技术，缩短了纳米计量传递链，提升了扁平化水平，更适用于解决产业应用问题。

目前，项目团队创建了量子化光晶格物化为直接溯源光栅标准（纳米标尺）的超稳制造技术和装置，系列光栅获批5项国家一级标准物质。

纳米长度标准物质的三年长期稳定性、样品间一致性均达到皮米量级（0.001纳米）水平，还首次建立了我国纳米尺度下的角度标准物质。

而精准的“纳米标尺”可为集成电路等先进纳米制造的校准与标定提供有力支撑。

此外，围绕这把“标尺”，一个国家级产业计量平台也在逐步形成。

2024年1月，经国家市场监督管理总局批准，以同济大学为主体的“国家集成电路微纳检测设备产业计量测试中心（上海）”正式启动筹建。

其成为全国集成电路领域首批获批筹建的国家级产业计量测试中心之一，研究团队也因此获评首批“国家级计量创新团队”。