东京电子与英伟达携手打造AI智能晶圆厂，引入智能体与机器人技术

7月20日消息，全球半导体设备巨头东京电子（TEL）宣布与英伟达深化合作，将 AI 智能体与机器人技术融入数字转型解决方案 Epsira，致力于打造智能晶圆厂。

东京电子将在Epsira中导入英伟达Agent Toolkit，包括NeMo、NIM、NemoClaw等工具，以及开放式机器人开发平台英伟达Isaac，通过AI故障排除、数字孪生及智能维护技术，协助晶圆厂提升设备稼动率、生产效率与良率。

英伟达Isaac可结合Omniverse建立数字孪生模型，模拟不同设备配置，大幅缩短机器人训练时间并提升维护精准度；NeMo可加速AI代理训练、调优与评估，NemoClaw有助于简化部署流程并提升系统安全性。

Epsira通过AI分析设备清洗周期、高精度机器人维护及故障排除分析，可降低设备定期维护需求，协助客户善用生产数据提升效率、降低对人员经验的依赖，同时减少制程变异、提高设备稳定性。

东京电子企业发展部门副总裁兼总经理松岛圭一表示，很高兴进一步深化与英伟达合作，未来将透过机器人维护及AI故障排除分析，协助客户提升制造能力与生产效率。

英伟达机器人与边缘AI生态系资深总监Amit Goel指出，半导体制造正迈向自动化新时代，随着晶圆厂环境日益复杂，机器人将有助提升设备稼动率、精准度及营运韧性。

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